Наукові конференції України, Інновації молоді в машинобудуванні 2024

Розмір шрифту: 
Нанесення тонких плівок
А. С. Трофимчук, О. Ф. Саленко

Остання редакція: 2024-04-23

Анотація


Нанесення тонких плівок — це спосіб включення тонкого покриття матеріалу в підкладку шляхом осадження або в рідкій фазі (розчин), або в твердій фазі (порошок або наночастинки). Операція нанесення покриття може проводитися при тиску повітря або в умовах низького вакууму. Його класифікують відповідно до розчинності використовуваних компонентів покриття. У розчинному покритті зв’язуюча речовина та цільовий матеріал розчиняються в розчині, який може безпосередньо покривати підкладку, а потім розчин випаровується з утвореної вологої плівки для отримання сухої плівки.


Ключові слова


Тонкі плівки; PVD; CVD; ALD

Посилання


1. Butt M. A. Thin-Film Coating Methods: A Successful Marriage of High-Quality and Cost-Effectiveness–A Brief Exploration. Coatings. 2022. Т. 12, № 8. С. 1115. URL: https://doi.org/10.3390/coatings12081115 (дата звернення: 22.04.2024).

2. Review of Growth Defects in Thin Films Prepared by PVD Techniques / P. Panjan та ін. Coatings. 2020. Т. 10, № 5. С. 447. URL: https://doi.org/10.3390/coatings10050447 (дата звернення: 22.04.2024).

3. Nussinovitch A. Biopolymer Films and Composite Coatings. Modern Biopolymer Science. 2009. С. 295–326. URL: https://www.researchgate.net/publication/279431958_Biopolymer_Films_and_Composite_Сoatings (дата звернення: 21.04.2024).


Full Text: PDF